洁净室电缆敷设除满足电气规范外，还需满足洁净要求：电缆应全部敷设于线槽或桥架内，不得裸露；电缆扎带使用尼龙扎带（自带固定座，不得使用金属扎带）；电缆接头必须在接线盒内完成，不得直接搭接；多余电缆长度应整齐盘卷并用扎带固定；施工后线槽盖板须全部盖好。控制电缆和动力电缆应分层敷设（间距≥300mm）以防干扰。所有电缆型号和走向应在竣工图上标注清晰。