气体终端是洁净室墙上供应压缩空气、氮气、二氧化碳、氩气等工艺气体的快速插接面板。材质为不锈钢，带独立的压力表和截止阀。插头为“DISS”或“GCE”标准接口，不同气体采用不同螺纹防错接。终端内部配有0.01μm除菌过滤器。使用前需排空管道内残留气体，插接时听到“咔哒”声表示到位。每月用检漏液检测接口是否泄漏，过滤器每半年更换一次。