微压差传感器是洁净室压差监测的核心元件，量程通常为±100Pa，输出4-20mA信号至BMS系统。其原理为电容式或压阻式，精度要求±1%FS。传感器高压端接洁净室内部，低压端接参照区（走廊或非洁净区）。日常需检查零点漂移（每年校准一次），安装时导压管应朝下倾斜防止凝水进入。数据异常时需排查是否因开门、风阀动作或过滤器堵塞所致。