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风淋室的门控系统遵循严格逻辑:外侧门打开后,内侧门必须锁死;人员进入风淋室,外侧门关闭;系统检测到两侧门都关好后才启动吹淋;吹淋结束后,内侧门解锁,外侧门保持锁死;人员进入洁净区并关闭内侧门后,系统复位。这个逻辑防止人员跳过大风淋或同时开启两侧门造成污染短路。日常检查门锁和传感器状态,损坏时必须停机维修。
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