目前全球通用的洁净室等级标准为ISO 14644-1，取代了旧版美国联邦标准209E。ISO等级从1级（最洁净）到9级（最脏），以每立方米空气中特定粒径颗粒的最大允许数量为判断依据。例如ISO 5级对应旧标准的“百级”，要求≥0.5μm颗粒≤3520个/m³。选择洁净度等级应根据生产工艺需求，盲目提高等级会大幅增加建造成本和运行能耗。