在高等级洁净室（ISO 5级以下），回风不直接排走，而是通过“回风夹墙”（或称技术夹层）与“高架地板”配合构建循环风路。送风经天花板FFU向下，穿过洁净区，然后从地面多孔高架地板进入下技术夹层，再沿墙内夹道返回到空调回风管。这种设计让气流垂直向下流动，不产生乱流涡旋。高架地板开孔率一般为17%-25%，需耐受推车与设备载荷。下方夹层还可以敷设管道电线，方便维护。