洁净室回风口位置影响气流清洁能力。下回风（地面或墙下部）是高级别洁净室的首选，配合上送层流，使污染物向下向边缘排出，路径最短、最直接。侧回风（墙面中部或高处）用于低级别或改造项目，但容易在房间中部形成涡流区，延长颗粒物停留时间。另外若回风口靠近发尘源（如设备散热扇），可能将尘粒直接抽回循环，造成二次污染。设计时需按洁净度等级和工艺设备布局选择回风形式。