粒子计数器是检测洁净室内空气中悬浮颗粒数量和尺寸的仪器。原理是光学散射：空气被抽过激光束窗口，颗粒物折射光脉冲，由光电二极管转换计数。常规检测粒径为0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm等。手持式用于日常巡检，台式大流量（28.3L/min或50L/min）用于级别认证。测量时应避开送风口正下方，探头高度相当于操作面。数据需报告单次值和UCL（置信上限）。