各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入无尘车间，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。

对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。如果生产流水线很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。

在系统设计上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对洁净区应保持负压或零压，如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。